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产品与应用

TM系列膜薄测量仪,84988.com,澳门新葡京同旧葡京

TM-03型膜厚测量仪
 TM-03,84988.com,型膜厚测量仪是TM-02的升级机型,正在二维精密测量平台基础上集成了机械手和硅片装载台,可实现整盒晶圆全自动测量及数据采集理会。本产品适用于IC制造生产线的实时监测、终端结果评价,也可取平坦化妆备集成用于在线测量,具有对测量样品无损伤、自动晶圆校准、测量重复性好、可靠性下、支配便当等特性。


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TM-03技术优势:
        1. 宽量程范围、非接触、无损测量;
        2. ,澳门新葡京同旧葡京,葡京官网网址晶圆自动装载、自动取放片、自动寻notch定位;金沙2158kk.com
        3. 重复性更高,可靠性更好。

TM-03技术指标:
 
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TM-02型膜厚测量仪
 TM-02型膜厚测量仪,回收了台式假想,可以或许交换四探针正在IC制作中的应用。该测量仪经过历程非接触式的体式格式住手厚度测量,回收高精度晶圆台及晶圆自动吸附寻整机构,可适用于多种尺寸原料的测量,具有测量速度快、重复性好、对样品无损伤,支配便当等特性。


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TM-02技术优势:
        1.宽量程范围,非接触、无损测量(不会对测量原料里面构成损伤);
        2. 测量速度快,速度提升40%;
        3. 重复性提升5倍,可靠性更好;
        4. 测量原料尺寸范围广。

 
TM-02技术指标:
 
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