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膜薄测量仪 TM 系列

TM 系列膜薄测量仪,32808.com,新葡京娱乐城官

TM  系列膜薄测量仪
TM  系列膜薄测量仪回收Eddie-Current的原理,经过历程非接触式的方法测量晶圆里面的附着原料层厚度。该系列产品具有纳米级膜厚辨别才气、极高的测量重复性,并且具有对样品无损伤、测量速度快等下风。
 
TM-03   型全自动型膜厚测量仪
TM-03   型正在二维精密测量平台基础上集成了机械手和硅片装载台,实现整盒晶圆全自动测量。本品可作为IC制造生产线的实时监测设备、终端结果评价仪器,也可取平坦化妆备集成用于在线测量。

1.宽量程范围、非接触、无损测量;
2.晶圆自动装载、自动取放片、自动寻notch定位;
3.直线、mapping、矩形、自定义点阵等多种情势。
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TM-02  型台式膜薄测量仪
TM-02  型回收了台式假想,本品回收了高精度晶圆台及晶圆自动吸附寻基准点(notch)整机构,具有便当的用户操作性。
1.宽量程范围、非接触、无损测量;
2.半自动放片、自动寻notch定位;
3.直线、mapping、矩形、自定义点阵等多种情势;
4.与传统四探针膜薄测量仪对比:
    1)速度提升40%
    2)重复性提升5倍
    3)测量原料的尺寸范围广
   4) 测量时不会对原料里面构成损伤
 
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TM-01  型膜厚测量仪
TM-01  型膜厚测量仪回收Eddie-Current的原理,经过历程非接触式的方法测量晶圆里面的附着原料层厚度。可以或许独立应用交换四探针正在IC制造中的应用,也可以或许作为设备实时监测装配,结合设备应用。

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