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中国平坦化技术联盟竖立推动CMP技术交流,58458.com,葡京注册网址开户

宣布时间:2015年06月04日 09:33     ,58458.com 作者:admin      来源:未知

5月28日至29日,2015年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛召开。中国工程院院士、清华大学校长助理、机械工程学院院长尤政,国家自然科学基金委员会工程与材料科学部副主任破晓,中国科学院院士、清华大学机械工程系主任雒建斌,中国半导体行业协会执行副理事长徐小田列席本次论坛并致辞。大会由会议主席、中国平坦化技术联盟主席、清华大学机械系教授、天津华海清科机电科技有限公司董事长兼总经理路新春主持。

随着集成电路制造技术的飞速发展,特性线宽络续减小,互联层络续增加,晶圆里面起伏将影响光刻时对线宽的把握,也难以正在刻蚀后涂布光刻胶制作图形。平坦化成为集成电路制造中不可或缺的关键技术,为半导体的一个分支,其重要性络绝提升。,

当前传统的平坦化技术已不适应,必须住手全局平坦化以满足上述要求,而化学机械抛光技术(CMP)是如今独一可以或许实现的全局平坦化技术。从多层金属互联最早(高出三层,估计0.25μm技术节点),CMP便成为芯片制造关键和必需设备之一,随着技术节点的一连降低,关于金属和介质的平坦化次数越来越多,且对均匀性的要求越来越下,CMP技术日益凸显其重要性。

因此,正在本届论坛上,去自我公司与台湾科技大学、国防科技大学、河北工业大学、中国电子科技集团公司第四十五研究所、美商嘉博微电子材料有限公司、复旦大学、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司的代表便抛光技术与应用、抛光工艺与后清洗、CMP耗材、CMP机理与仿真,和CMP前沿技术等住手了深切演讲与交流。,澳门葡京网站 官网直营

5月27日,中国平坦化技术联盟(CMPUG-CN)也正式宣布竖立。中国平坦化技术联盟执行委员会主席路新春表示,CMPUG-CN将加强平坦化技术领域专家、学者及企业界人士的交流合作,增长我国CMP技术发展并与国际ICPT机构对接,正在全球增长CMP技术交流与履行应用。住手到如今,CMPUG-CN共有26个成员单位,包含企业、大学和科研机构。,葡京注册网址开户

台湾科技大学机械系特聘教授、台湾平坦化应用技术协会理事长陈照彰表示,从2012年最早,海峡两岸已便CMP专业最早交流,2013年最早又便严峻议题展开交流,2014年海峡两岸CMP专业交流会正在台湾举办,往年则正在中国大陆举办。未来,两岸的实力的联合,将减速推动CMP的发展。 

 
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