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人民日报:国内尾台12英寸化学机械抛光机拜托,4972.cc,注册支59元新葡京网址

7801.com      作者:admin      来源:人民日报
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《人民日报》(2015年8月5日 10版)澳门金沙9905com
 
(人民网北京8月4日电)集成电路领域的高端装备国产化进程又进一步。记者今天从清华控股有限公司得知,由清华大学科技成果成功转化的国内尾台12英寸化学机械抛光机刻期拜托应用。,注册支59元新葡京网址,葡京线路检测中心
 
化学机械抛光是经过历程应用化学腐蚀和机械作用对加工进程中的晶圆住手平坦化措置责罚,以便获得纳米级别的平整里面,是集成电路制造工艺中的五大关键技术之一。正在国家科技严峻专项“极大局限集成电路平坦化工艺与原料”的支持下,清华大学研制出了国内尾台12英寸“干进干出”铜制程抛光机,主要技术指标抵达也许高出海外最先进产品的水平。,
 
清华控股成员企业天津华海清科机电科技有限公司接受清华大学的技术转让,具有了化学机械抛光的核心技术,正在国内率先具有研发和消耗12英寸前段和后段抛光整机设备的才气。刻期,华海清科首台12英寸化学机械抛光机拜托中芯国际,符号着国内12英寸化学机械抛光机已进入大型生产线。
 
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